[21p-C402-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

15:00 〜 15:15

[21p-C402-7] 核種変換によるLiドープダイヤモンドの製作(3) -エピタキシャル成長薄膜中のBeの熱拡散の調査-

〇三宅 泰斗¹、奥野 広樹¹、渡邊 幸志² (1.理研仁科センター、2.産総研)

キーワード：

ダイヤモンド,核種変換,ベリリウム

本研究では、放射性同位体元素 ⁷Be の ⁷Li への核種変換反応を利用して、Li を欠陥生成なしにドープしたダイヤモンドを製作することを目的とする。今回我々は、HPHT Ib型単結晶ダイヤモンド(001)基板上にマイクロ波プラズマCVD薄膜堆積装置でホモエピタキシャル成長させた薄膜についてダイヤモンド結晶中の⁹Beの拡散について評価した。発表では、Beの熱拡散についてこれまで得られた知見を発表する。