Presentation Information
[21p-P06-8]Uniformity evaluation of red-nanocolumns with semipolar faceted GaInN active layers
〇Yasuto Akatsuka1, Yasuto Kakemura1, Jumpei Yamada2, Koichi Morozumi1, Shunsuke Ishizawa1, Koichiro Akasaka1, Takafumi Noda1, Rie Togashi2, Katsumi Kishino2 (1.Seiko Epson Corp., 2.Sophia Nanotech.)
Keywords:
nanocolumn,nanowire,GaInN
GaInN系ナノコラムは、転位屈曲効果や歪み緩和効果と周期配列構造に起因する光取り出し効果により高効率な赤色発光が期待できる。RF-MBE法を用いて、半極性面上GaInN/GaN 活性層を有するナノコラムを作製した。CLやTEMを用いた解析から活性層直下層にて意図しない複数の結晶面が混在し、ナノコラム間で結晶品質に差が生じていることが分かった。高効率赤色発光の実現には、結晶面の統一が必要である。