講演情報

[21p-P06-8]半極性面GaInN活性層を有する赤色発光ナノコラムの構造評価

〇赤塚 泰斗1、掛村 康人1、山田 純平2、両角 浩一1、石沢 峻介1、赤坂 康一郎1、野田 貴史1、富樫 理恵2、岸野 克巳2 (1.セイコーエプソン(株)、2.上智大ナノテク)

キーワード:

ナノコラム,ナノワイヤ,GaInN

GaInN系ナノコラムは、転位屈曲効果や歪み緩和効果と周期配列構造に起因する光取り出し効果により高効率な赤色発光が期待できる。RF-MBE法を用いて、半極性面上GaInN/GaN 活性層を有するナノコラムを作製した。CLやTEMを用いた解析から活性層直下層にて意図しない複数の結晶面が混在し、ナノコラム間で結晶品質に差が生じていることが分かった。高効率赤色発光の実現には、結晶面の統一が必要である。