Presentation Information
[21p-P09-1]Diagnostics of Ti(acac)2(OiPr)2 mist fragment using Q-mass spectrometer
〇Hajime Shirai1, Koujun Yokoyama1 (1.Saitama Univ,)
Keywords:
mist-CVD,TiO2,Diagnostics of mist transport uisng Q-Mass spectrometer
先行研究でTi(acac)2(OiPr)2ミストの生成・輸送・管状炉内での空間分布についてa-TiO2成膜、トレンチ基板の塗布形態、粒度分布への影響について検討してきた。特にミスト輸送時に印加するメッシュバイアスVm印加による粒度分布の微細化がa-TiO2膜の屈折率の向上、Si界面接合特性の向上に有効であることを報告した。しかしミストフラグメントの同定についての検討はほとんどない。今回四重極質量分析(Q-mass)[JEOL JMS-Q1500G]によりTi(acac)2(OiPr)2粉体、CH3OH希釈溶液およびミストについて診断した。