[21p-P09-1~30] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-P09-1] 質量分析
法 による Ti(acac)₂(OiPr)₂ミスト診断

〇白井 肇¹、横山 工純¹ (1.埼玉大理工)

キーワード：

ミストCVD,TiO2,Q-massによるミスト気相診断

先行研究でTi(acac)₂(OiPr)₂ミストの生成・輸送・管状炉内での空間分布についてa-TiO₂成膜、トレンチ基板の塗布形態、粒度分布への影響について検討してきた。特にミスト輸送時に印加するメッシュバイアスV_m印加による粒度分布の微細化がa-TiO₂膜の屈折率の向上、Si界面接合特性の向上に有効であることを報告した。しかしミストフラグメントの同定についての検討はほとんどない。今回四重極質量分析(Q-mass)[JEOL JMS-Q1500G]によりTi(acac)₂(OiPr)₂粉体、CH₃OH希釈溶液およびミストについて診断した。