[21p-P09-1~30] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[21p-P09-12] Mist CVD Growth of High Mg-content Rocksalt-Structured MgZnO Films

〇Kotaro Ogawa¹, Wataru Kosaka¹, Hiroya Kusaka¹, Toshiki Mitomi¹, Tomohiro Yamaguchi¹, Tohru Honda¹, Yuichi Ota², Kentaro Kaneko³, Shizuo Fujita⁴, Takeyoshi Onuma¹ (1.Kogakuin Univ., 2.TIRI, 3.Ritsumeikan Univ., 4.Kyoto Univ.)

Keywords:

MgZnO,Mist CVD,VUV

4.5~7.8 eVの広いバンドギャップをもつ岩塩構造(RS)酸化マグネシウム亜鉛(MgZnO)は、真空紫外線領域における新たな発光材料として期待される。これまでに、MgOモル分率x≥0.92のRS-Mg_xZn_1-xO 薄膜において、室温CL測定によって190 nm帯の発光観測に成功している。本発表では、190 nmより短い波長域の室温発光実現を狙い、更にMgOモル分率の大きなRS-Mg_xZn_1-xO(x≥0.95)のミストCVD成長を行った内容について報告する。