Presentation Information
[21p-P09-15]Mist CVD Growth of α-GIO Alloy and its Application for α-ray Detector
〇(M2)Kai Yamada1, Kotono Yamada1, Rie Yamada1, Takumi Yamamoto1, Tatsuhiro Sakurai2, Takeyoshi Onuma1, Tomohiro Yamaguchi1, Tohru Aoki2, Takayuki Nakano2, Tohru Honda1 (1.Kogakuin Univ., 2.Shizuoka Univ.)
Keywords:
Mist CVD method,Gallium Indium Oxide alloys,alpha-ray
Mist CVD法によりα-Ga2O3バッファ層上α-GIO混晶を成膜した。α-GIO混晶のIn組成は17％だった。このα-GIOに櫛形MSMダブルショットキー電極を形成し、α-GIO検出器を製作した。このα-GIO検出器にα粒子を照射することにより波高スペクトルを確認した。電圧を増加させることによって各チャネルに対する波高スペクトルが増加することが示された。