Presentation Information
[21p-P09-30]Investigation of flexible CO2 gas sensors based on transfer of SnO2 thin film with NaCl sacrificial layer
〇Taisei Hattori1, Takuto Maeda1, Mutsumi Sugiyama1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)
Keywords:
gas sensor,SnO2,flexible device
酸化スズを用いたガスセンサをビニールハウスのような湾曲する場所にも適用できれば、用途拡大が見込まれる。しかし熱により物性が変化する基板上にスパッタ成膜することは困難である。そこで、犠牲層を用いた転写プロセスにより様々な基板上にガスセンサを作製できると考えた。本研究では様々な基板上に転写を行う第一歩として、フレキシブル基板上へのNaCl犠牲層を用いた転写によるフレキシブルCO2ガスセンサを試作した。