講演情報
[21p-P09-30]NaCl犠牲層を用いたSnO2薄膜の転写によるフレキシブルCO2ガスセンサの検討
〇服部 汰星1、前田 拓人1、杉山 睦1,2 (1.東理大 創域理工、2.東理大 総研)
キーワード：
ガスセンサ,酸化スズ,フレキシブルデバイス
酸化スズを用いたガスセンサをビニールハウスのような湾曲する場所にも適用できれば、用途拡大が見込まれる。しかし熱により物性が変化する基板上にスパッタ成膜することは困難である。そこで、犠牲層を用いた転写プロセスにより様々な基板上にガスセンサを作製できると考えた。本研究では様々な基板上に転写を行う第一歩として、フレキシブル基板上へのNaCl犠牲層を用いた転写によるフレキシブルCO2ガスセンサを試作した。