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9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)

[22a-B201-2]Wafer-scale characterization of mosaics and the impact on point defects in GaN studied using 2D birefringence and photoluminescence measurements

〇Kohei Shima¹, Shigefusa Chichibu¹ (1.IMRAM-Tohoku Univ.)

GaN,birefringence,Photoluminescence

非破壊かつ高速に結晶モゼイクのトポグラフィー像を取得可能な二次元複屈折評価システムを用いてGaN基板の結晶モゼイクをウエハスケールで評価した。さらに、結晶モゼイクが空孔型欠陥の取り込みに与える影響をフォトルミネッセンス法等により評価した結果を報告する。