講演情報

9:15 〜 9:30

[22a-B201-2]二次元複屈折およびフォトルミネッセンス測定によるGaNウエハの結晶モゼイクと点欠陥の評価

〇嶋紘平¹、秩父重英¹ (1.東北大多元研)

窒化ガリウム,複屈折,フォトルミネッセンス

非破壊かつ高速に結晶モゼイクのトポグラフィー像を取得可能な二次元複屈折評価システムを用いてGaN基板の結晶モゼイクをウエハスケールで評価した。さらに、結晶モゼイクが空孔型欠陥の取り込みに与える影響をフォトルミネッセンス法等により評価した結果を報告する。