Presentation Information
[22a-C402-6]Investigation of agile transfer printing of semiconductor films with polyvinyl chloride
〇Takumi Sato1, Soma Akahoshi1, Akinari Fujita1, Satoshi Iwamoto2, Yasutomo Ota1 (1.Keio Univ., 2.RCAST, the Univ. of Tokyo)
Keywords:
transfer printing,semiconductor thin film,polyvinyl-chloride
転写プリント法は高品質な異種材料光集積を実現できる技術として注目されている。一般的にはpolydimethylsiloxaneをスタンプとして用い、その接着力を操作速度により制御する。リリース時にはスタンプをゆっくりと引き剥がすが、この遅い操作が一因となり一転写サイクルが1分程度かかることが課題となっていた。本研究では転写プリント集積の高速化に向け、新たにpolyvinyl-chlorideを用いることで半導体薄膜をガラス上にリリースすることに成功したため報告する。