講演情報
[22a-C402-6]ポリ塩化ビニルを用いた半導体薄膜の高速転写プリント集積の検討
〇佐藤 拓未1、赤星 颯麻1、藤田 晃成1、岩本 敏2、太田 泰友1 (1.慶大理工、2.東大先端研)
キーワード：
転写プリント,半導体薄膜,ポリ塩化ビニル
転写プリント法は高品質な異種材料光集積を実現できる技術として注目されている。一般的にはpolydimethylsiloxaneをスタンプとして用い、その接着力を操作速度により制御する。リリース時にはスタンプをゆっくりと引き剥がすが、この遅い操作が一因となり一転写サイクルが1分程度かかることが課題となっていた。本研究では転写プリント集積の高速化に向け、新たにpolyvinyl-chlorideを用いることで半導体薄膜をガラス上にリリースすることに成功したため報告する。