[22a-C501-1~8] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22a-C501-1] Heat Physical Properties by Three-Dimensional Self-Ordered Multilayered SiGe Nanodots

〇Ryo Yokogawa^1,2, Sho Sugawa¹, Yuiha Maeda¹, Yuta Ito¹, Yuichiro Yamashita³, Wei-Chen Wen⁴, Yuji Yamamoto⁴, Atsushi Ogura^1,2 (1.Meiji Univ., 2.MREL, 3.AIST, 4.IHP)

Keywords:

SiGe,nanodot,phonon scattering

本講演ではStranski-Krastanov成長した自己組織化多層SiGeナノドットに対し、微視的な熱物性とフォノン散乱メカニズムの関係を評価したので報告する。縦積層、千鳥状に積層させた 3 次元自己組織化SiGeナノドットを準備し比較した結果、異なる熱伝導率を有することが分かった。これらの結果を踏まえ、自己組織化多層SiGeナノドットの配列を変えることで、フォノン散乱を制御できると考えている。