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2:05 PM - 2:35 PM JST(5:05 AM - 5:35 AM UTC)

[22p-A401-3]Forwarding Life-Cycle Assessment Study of Semiconductors

〇Kazuyo Mastubae¹ (1.Tohoku Univ.)

Life Cycle Analysis,Industrial gas

低炭素社会を支える重要技術には各種半導体が用いられるが、フッ化系ガスの消費を含め半導体製造プロセスの環境負荷は小さくない。本稿では、半導体生産に用いられるいくつかの素材に着目して、その関連する周辺のサプライチェーンリスクと環境影響を示しつつ、半導体のライフサイクル分析を行う際の課題について議論する