[22p-A401-1~10] グリーン・サステナブル半導体製造技術の体系的構築

14:05 〜 14:35

[22p-A401-3] 半導体製造のライフサイクル分析に向けて

〇松八重 一代¹ (1.東北大環境)

キーワード：

ライフサイクル分析,産業用ガス

低炭素社会を支える重要技術には各種半導体が用いられるが、フッ化系ガスの消費を含め半導体製造プロセスの環境負荷は小さくない。本稿では、半導体生産に用いられるいくつかの素材に着目して、その関連する周辺のサプライチェーンリスクと環境影響を示しつつ、半導体のライフサイクル分析を行う際の課題について議論する