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2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)

[22p-B101-3]Characterization of Optical Properties of ScAlN/GaN by Spectroscopic Ellipsometry

〇Takuya Maeda¹, Yusuke Wakamoto¹, Shota Kaneki², Hajime Fujikura², Atsushi Kobayashi³ (1.UTokyo, 2.Sumitomo Chemical Co. Inc., 3.Tokyo Univ. of Sci.)

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Keywords:

Scandium Aluminum Nitride (ScAlN),Spectroscopic Ellipsometry,Sputtering

本研究では，ScAlN/GaNヘテロ接合について，基礎的な結晶評価に加え，分光エリプソメトリーによって光学物性を評価し，屈折率，消衰係数，バンドギャップについて調べたので報告する．分光エリプソメトリーにおける測定において，Tuac-Lorenzモデルによって良好なフィッティングが得られた．Sc組成増加につれて，屈折率は微増し，消衰係数は長波長側へシフトした．フィッティングから得られた膜厚はXRDから求めた膜厚とよく一致した．

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