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1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23p-A301-4]Diagnostics of Ion Sheath on an AC-Biased Metal Plate Using Time-Resolved Laser-Induced Fluorescence Spectroscopy

〇(M2)Ryosuke Takahashi¹, Seiya Kito¹, Koji Eriguchi¹, Keiichiro Urabe¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

Plasma diagnostics,Laser-induced fluorescence spectroscopy,Ion behavior

低温プラズマを用いた材料プロセスでは基板に印加する交流バイアスにより材料へのイオン照射エネルギーを制御するため，交流電圧変化に応答するイオン挙動の計測や理解が重要である．そこで我々は交流電圧1周期内のイオン速度分布変化を捉える時間分解レーザー誘起蛍光（LIF）計測システムを構築した．本発表では構築した時間分解LIFシステム及び交流電圧を印加した金属板近傍のイオン挙動計測の結果について報告する．

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