講演情報
[23p-A301-4]交流電圧を印加した金属板上に形成されるイオンシースの時間分解レーザー誘起蛍光計測
〇(M2)高橋 良輔1、鬼頭 聖弥1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
キーワード：
プラズマ計測,レーザー誘起蛍光法,イオン挙動
低温プラズマを用いた材料プロセスでは基板に印加する交流バイアスにより材料へのイオン照射エネルギーを制御するため，交流電圧変化に応答するイオン挙動の計測や理解が重要である．そこで我々は交流電圧1周期内のイオン速度分布変化を捉える時間分解レーザー誘起蛍光（LIF）計測システムを構築した．本発表では構築した時間分解LIFシステム及び交流電圧を印加した金属板近傍のイオン挙動計測の結果について報告する．