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2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23p-A301-6]Development of harmonic spectroscopy method to analyze electric circuit including non-linear resistance and its application to measure plasma and surface parameters

〇Junki Morozumi¹, Koji Eriguchi¹, Keiichiro Urabe¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

Plasma and material surface,Non-linear circuit analysis,Harmonic spectroscopy method

反応性プラズマ中の金属探針表面には改質層が形成されることがよく知られている．この改質層の形成過程はプラズマ特性と密接な関係を持っており，プラズマと固体材料との相互作用を理解する上で重要な情報源と成り得る．本研究では，交流電圧をシースに印加した際に発生する高次高調波電流に着目し，プラズマ曝露環境下にある改質層の電気特性とプラズマ特性を同時計測可能な新規計測手法を開発し，計測実験により性能を評価した．

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