講演情報
[23p-A301-6]非線形回路解析のための高調波分光法の開発とプラズマ曝露下でのプラズマ・材料特性同時計測への応用
〇両角 潤樹1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
キーワード：
プラズマ・材料表面,非線形回路解析,高調波分光法
反応性プラズマ中の金属探針表面には改質層が形成されることがよく知られている．この改質層の形成過程はプラズマ特性と密接な関係を持っており，プラズマと固体材料との相互作用を理解する上で重要な情報源と成り得る．本研究では，交流電圧をシースに印加した際に発生する高次高調波電流に着目し，プラズマ曝露環境下にある改質層の電気特性とプラズマ特性を同時計測可能な新規計測手法を開発し，計測実験により性能を評価した．