Presentation Information
[23p-A602-2]Evaluation of 3-Dimensional Self-Ordered Multilayered SiGe Nanodots
by Photoluminescence and Raman spectroscopy (Ⅱ)
〇Yuta Ito1, Ryo Yokogawa1,2, Wei-Chen Wen3, Yuji Yamamoto3, Takuya Minowa1, Atsushi Ogura1,2 (1.Meiji Univ., 2.MREL, 3.IHP)
Keywords:
nanodot,SiGe,strain
ナノドットレーザの発振における利得向上のため、ドット多層化によるドット密度向上が図られている。ドットの積層構造について、ドット位置が交互に積層されるStaggered状積層とドットが直上に積層されるDot-on-dot状積層がある。Dot-on-dotナノドットはStaggeredナノドットに比べ、PL測定からはピークのブルーシフト、ラマン分光測定からは強い圧縮歪が確認された。本研究ではドットの積層構造の違いがもたらす光変換波長への影響について検討を実施した。