Presentation Information

9:30 AM - 10:00 AM JST(12:30 AM - 1:00 AM UTC)

[22a-12J-2][JSAP Kenji Natori Award Speech] Design of High Mobility Extremely-Thin-Body Nanosheet Channels by Modeling of Nonlinear Perturbation of Surface Roughness Scattering

〇Kei Sumita¹ (1.Univ. Tokyo)

Keywords:

Nanosheet,Surface Roughness Scattering,Mobility

極薄膜ナノシートチャネルでは表面ラフネス(SR)による大幅な移動度劣化が課題である一方, 表面ラフネス散乱の従来モデルにも定量性に課題が残る. 従って本研究では, 表面ラフネス散乱の摂動の本質的な非線形性を考慮したモデルを開発し, 提案モデルに基づき2 nmの膜厚まで様々な面方位の各材料の移動度を評価し, 極薄膜チャネルにおける最適なチャネル材料と面方位を明らかにした.

Back to Session information