[22p-12G-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

5:15 PM - 5:30 PM JST(8:15 AM - 8:30 AM UTC)

[22p-12G-10] Effects of Langmuir Probe Measurement on levitating fine-particles in Plasma

〇TIANXIANG WANG¹, M Inoue¹, T Taguchi², Y Oda¹, D Takayama¹, D Hiro¹, S Park¹, Y Karaki³ (1.Setsunan Univ, 2.Japan Atomic Energy Agency, 3.Nara Inst. of Sci. & Tech)

Keywords:

Plasma,fluorescent fine-particle

我々は，蛍光球形微粒子を用いてRF放電プラズマ中のシース電界分布計測の研究を行っている。データを解析する上で，電子温度，電子密度などのパラメータが必要となるため，ラングミュアプローブを用いた計測を行っている。今回，我々は Raspberry PI を用いた計測システムを製作し，蛍光微粒子を浮遊させた状態でプローブ計測を行い，それが微粒子雲の浮遊状態に影響を与えるのか，確認した。