講演情報
[22p-12G-10]ラングミュアプローブ計測がプラズマ中の浮遊微粒子に与える影響
〇王 天翔1、井上 雅彦1、田口 俊弘2、小田 靖久1、高山 大輔1、廣 大輔1、朴 商云1、唐木 裕馬3 (1.摂南大学、2.日本原子力開発研究機構、3.奈良先端科学技術大学院大学)
キーワード:
プラズマ,蛍光微粒子
我々は,蛍光球形微粒子を用いてRF放電プラズマ中のシース電界分布計測の研究を行っている。データを解析する上で,電子温度,電子密度などのパラメータが必要となるため,ラングミュアプローブを用いた計測を行っている。今回,我々は Raspberry PI を用いた計測システムを製作し,蛍光微粒子を浮遊させた状態でプローブ計測を行い,それが微粒子雲の浮遊状態に影響を与えるのか,確認した。