Presentation Information
[22p-P07-10]Nondestructive testing of carbon nanotube thin films using EIT method
〇Keiya Minakawa1, Reiji Kaneko1, Tomoaki Yamazaki1, Kazuyasu Tokiwa1, Takashi Ikuno1 (1.Tokyo Univ. of Sci.)
Keywords:
electrical impedance tomography,machine learning,carbon nanotube
さまざまなデバイスにおいて，活性層であるカーボンナノチューブ薄膜の欠陥を評価することは重要である．しかし，一般的にデバイス形成後に活性層のみを欠陥評価することは困難である．そこで我々は，測定対象の表面電位データから内部の導電率分布を非破壊で可視化する電気インピーダンストモグラフィ（EIT）法に着目した．本研究では，高分解能機械学習援用EIT法がナノカーボン系薄膜への分析手法として有用であることを示す．