講演情報
[22p-P07-10]EIT法を用いたカーボンナノチューブ薄膜の非破壊欠陥評価
〇皆川 敬哉1、金子 怜司1、山崎 智亮1、常盤 和靖1、生野 孝1 (1.東理大先進工)
キーワード：
電気インピーダンストモグラフィ,機械学習,カーボンナノチューブ
さまざまなデバイスにおいて，活性層であるカーボンナノチューブ薄膜の欠陥を評価することは重要である．しかし，一般的にデバイス形成後に活性層のみを欠陥評価することは困難である．そこで我々は，測定対象の表面電位データから内部の導電率分布を非破壊で可視化する電気インピーダンストモグラフィ（EIT）法に着目した．本研究では，高分解能機械学習援用EIT法がナノカーボン系薄膜への分析手法として有用であることを示す．