Presentation Information
[22p-P07-47]Development of a system to efficiently fabricate large area monolayer semiconductors by robotic technology
〇Wataru Idehara1, Keisuke Shinokita1, Kazunari Matsuda1, Fan Yang1 (1.IAE, Kyoto Univ.)
Keywords:
mechanical exfoliation,robotic technology
一般的な人間の手で行う機械的剥離法は、バルク単結晶といわゆるスコッチテープに相当する剥離テープを用いて行う単純なプロセスであるにも関わらず、ミクロスコピックには細かい多数のパラメーターが介在する。そこで本研究では、上記の問題を解決するために、ロボット技術を積極的に利用した高品質かつ大面積な単層を作製するための自動機械剥離システムの構築を行なった。