[23a-12K-1~8] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23a-12K-3] Investigation of strain rate dependence by micro-compression testing of electrodeposited gold for MEMS accelerometer applications

〇(M1)Shota Kanno¹, Taro Omura¹, Tomoyuki Kurioka¹, Chun-Yi Chen¹, Katsuyuki Machida¹, Hiroyuki Ito¹, Yukihiro Miyake¹, Tso-Fu Mark Chang¹, Masato sone¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:

MEMS,Gold,Sample size effect

MEMS加速度センサの小型化、高感度化達成のため、金材料が有望視されている。このセンサの実用化に向けた、マイクロサイズの金材料の機械的特性評価は十分に行われていない。したがって、微小圧縮試験により、サンプルサイズ効果とひずみ速度感受性の関係を明らかにする研究を行った。結果として、本研究で用いた試料のサイズ差ではひずみ速度感受性とサンプルサイズ効果の関係性は小さいことが明らかになった。