講演情報
[23a-12K-3]MEMS加速度センサへの応用に向けためっき金の微小圧縮試験によるひずみ速度依存性調査
〇(M1)菅野 翔太1、大村 太郎1、栗岡 智行1、Chun-Yi Chen1、町田 克之1、伊藤 浩之1、三宅 美博1、Tso-Fu Mark Chang1、曽根 正人1 (1.東工大)
キーワード：
MEMS,金,サンプルサイズ効果
MEMS加速度センサの小型化、高感度化達成のため、金材料が有望視されている。このセンサの実用化に向けた、マイクロサイズの金材料の機械的特性評価は十分に行われていない。したがって、微小圧縮試験により、サンプルサイズ効果とひずみ速度感受性の関係を明らかにする研究を行った。結果として、本研究で用いた試料のサイズ差ではひずみ速度感受性とサンプルサイズ効果の関係性は小さいことが明らかになった。