Presentation Information
[23a-12K-6]MEMS Electrostatic Actuator Controlling the Inter-layer Angle of Stacked 2D Materials
〇Kosuke Chikamatsu1, Manabu Ataka1, Momoko Onodera1, Tomoki Machida1, Hiroshi Toshiyoshi1 (1.IIS, Univ. of Tokyo)
Keywords:
MEMS,MEMS actuator
グラフェンをはじめとする二次元電子材料をファンデルワールス接合により接合すると、単体では考えられない性質が発現する事例が発見されている。またファンデルワールス接合の特徴として、ある回転角で積層すると特有の物性が発現することが知られている。本研究では積層角の可変制御を目的として、回転変位を発生するMEMS型静電アクチュエータを製作した。講演では、その設計・製作手法と性能評価の結果について報告する。