講演情報
[23a-12K-6]二次元電子材料の積層角度を制御するＭＥＭＳ型静電アクチュエータの検討
〇近松 広輔1、安宅 学1、小野寺 桃子1、町田 友樹1、年吉 洋1 (1.東大生産研)
キーワード：
MEMS,MEMSアクチュエータ
グラフェンをはじめとする二次元電子材料をファンデルワールス接合により接合すると、単体では考えられない性質が発現する事例が発見されている。またファンデルワールス接合の特徴として、ある回転角で積層すると特有の物性が発現することが知られている。本研究では積層角の可変制御を目的として、回転変位を発生するMEMS型静電アクチュエータを製作した。講演では、その設計・製作手法と性能評価の結果について報告する。