[23p-12E-1~13] 6.2 Carbon-based thin films

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23p-12E-4] Atomic observation of diamond (001) surfaces with non-contact atomic force microscopy

〇Yuuki Yasui¹, Runnan Zhang¹, Masahiro Fukuda², Taisuke Ozaki², Masahiko Ogura³, Toshiharu Makino³, Daisuke Takeuchi³, Yoshiaki Sugimoto¹ (1.GSFS, Univ. Tokyo, 2.ISSP, Univ. Tokyo, 3.AIST)

Keywords:

diamond,atomic force microscopy

次世代パワーデバイスとしてダイヤモンドが注目を集めている。デバイス作製には、ダイヤモンドの成長過程、表面の清浄性、ドーパント配置が重要となる。我々は、走査プローブ顕微鏡の一種である、非接触原子間力顕微鏡(NC-AFM) を用いたダイヤモンド(001) 表面観察を行い、水素終端された表面、および水素脱離した清浄表面において、個々の原子の可視化を達成した。これにより、ダイヤモンド成長過程、ドーパントの配置が直接観測可能となる。