講演情報
[23p-12E-4]非接触原子間力顕微鏡によるダイヤモンド(001)表面の原子像観察
〇安井 勇気1、張 潤楠1、福田 将大2、尾崎 泰助2、小倉 政彦3、牧野 俊晴3、竹内 大輔3、杉本 宜昭1 (1.東大新領域、2.東大物性研、3.産総研)
キーワード：
ダイヤモンド,原子間力顕微鏡
次世代パワーデバイスとしてダイヤモンドが注目を集めている。デバイス作製には、ダイヤモンドの成長過程、表面の清浄性、ドーパント配置が重要となる。我々は、走査プローブ顕微鏡の一種である、非接触原子間力顕微鏡(NC-AFM) を用いたダイヤモンド(001) 表面観察を行い、水素終端された表面、および水素脱離した清浄表面において、個々の原子の可視化を達成した。これにより、ダイヤモンド成長過程、ドーパントの配置が直接観測可能となる。