[23p-12E-1~13] 6.2 Carbon-based thin films

3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)

[23p-12E-7] Estimation of diffusion coefficient of Be in diamond epitaxial growth thin film

〇Yasuto Miyake¹, Hiroki Okuno¹, Hideyuki Watanabe^1,2 (1.RIKEN RNC, 2.AIST)

Keywords:

diamond,ion implantation,nuclear transmutation

本研究ではBeの放射性同位体⁷Beの⁷Liへの核種変換反応を利用して、⁷Liがドープされたダイヤモンドを製作することを目的とする。現在までに、ホモエピタキシャル成長ダイヤモンド薄膜にBeをイオン注入し、ドーズ量を変えることで、加熱処理によるBeの異なる拡散を見出した。本研究では、ドーズ量10¹³cm^-2程度でRTAの加熱条件を変化させることで、Beのダイヤモンド中での拡散係数の推定を試みた。