[23p-12H-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)

[23p-12H-3] Epitaxial growth of Ce,Mn substituted ZnO films by sputtering method
and electrical characterization

〇Moe Sakaguchi¹, Norifumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metro. Univ.)

Keywords:

ZnO,Epitaxial growth,Piezoelectric

酸化亜鉛（ZnO）は、c軸方向に自発分極を持つウルツ鉱型圧電体で、センサや共振器への応用が検討されている。最近ではMg置換やCe,Mn共置換によって強誘電性が発現することも報告されている。元素置換による強誘電性の発現や圧電特性の向上が知られているが、詳細な結晶構造解析にはエピタキシャル薄膜を用いることが望ましい。そこで、コンビナトリアルスパッタ法を用いてSi基板上への(Ce,Mn)置換ZnO薄膜のエピタキシャル成長に取り組んだ。