講演情報
[23p-12H-3]スパッタ法によるCe,Mn置換ZnO薄膜のエピタキシャル成長と電気的特性評価
〇阪口 萌生1、藤村 紀文1、吉村 武1 (1.阪公大工)
キーワード：
酸化亜鉛,エピタキシャル成長,圧電体
酸化亜鉛（ZnO）は、c軸方向に自発分極を持つウルツ鉱型圧電体で、センサや共振器への応用が検討されている。最近ではMg置換やCe,Mn共置換によって強誘電性が発現することも報告されている。元素置換による強誘電性の発現や圧電特性の向上が知られているが、詳細な結晶構造解析にはエピタキシャル薄膜を用いることが望ましい。そこで、コンビナトリアルスパッタ法を用いてSi基板上への(Ce,Mn)置換ZnO薄膜のエピタキシャル成長に取り組んだ。