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4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23p-21C-11]Dependence of stray light in monolithic μLED arrays on sapphire substrate thickness

〇(M1)Naoki Hasegawa¹, Tatsunari Saito¹, Yoshinobu Suehiro¹, Motoaki Iwaya¹, Tetsuya Takeuchi¹, Satoshi Kamiyama¹ (1.Meijo-u University)

Keywords:

Stray light,microLED,Monolithic microLED arrays

GaInN系モノリシック型μLEDアレイは高集積化，高輝度化が可能でありAR/VRディスプレイへの応用が期待されており、高精細な画像を得るためには迷光対策が必要である．これまでの検討で，サファイア基板上に作製したμLEDアレイでは周期的に強い光強度の迷光が現れることが報告された。本報告では，サファイア基板を研削し膜厚を変更し，その依存性を検証した．結果として，サファイア基板の膜厚低下とともに，迷光が増大する傾向が確認された.

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