講演情報
[23p-21C-11]モノリシック型μLEDアレイにおける迷光のサファイア基板膜厚依存性
〇(M1)長谷川 直希1、齋藤 竜成1、末広 好伸1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1 (1.名城大理工)
キーワード：
迷光,μLED,モノリシック型μLEDアレイ
GaInN系モノリシック型μLEDアレイは高集積化，高輝度化が可能でありAR/VRディスプレイへの応用が期待されており、高精細な画像を得るためには迷光対策が必要である．これまでの検討で，サファイア基板上に作製したμLEDアレイでは周期的に強い光強度の迷光が現れることが報告された。本報告では，サファイア基板を研削し膜厚を変更し，その依存性を検証した．結果として，サファイア基板の膜厚低下とともに，迷光が増大する傾向が確認された.