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[23p-31B-9]Transfer of CVD-grown MoS2 with a functional tape

〇Mai Kuroki1, Satoru Fukamachi2, Maki Nakatani2, Zongpeng Ma1, Satoshi Honda3, Atsushi Yasui3, Hiroki Ago1,2 (1.Kyushu Univ., 2.Kyushu Univ. GIC, 3.Nitto Denko)

Keywords:

MoS2,transfer,chemical vaper deposition

次世代半導体のチャネル材料として二硫化モリブデン(MoS2)などの遷移金属カルコゲナイド(TMD)が注目されている。本研究では、二次元材料の転写に特化した機能性テープを用いて、CVD合成したTMDの転写を行った結果について報告する。