講演情報
[23p-31B-9]機能性テープによるCVD合成したMoS2の大面積転写
〇黒木 麻衣1、深町 悟2、中谷 真季2、Ma Zongpeng1、本田 哲士3、保井 淳3、吾郷 浩樹1,2 (1.九大院総理工、2.九大GIC、3.日東電工)
キーワード：
MoS2,転写,化学気相成長法
次世代半導体のチャネル材料として二硫化モリブデン（MoS2）などの遷移金属カルコゲナイド（TMD）が注目されている。本研究では、二次元材料の転写に特化した機能性テープを用いて、CVD合成したTMDの転写を行った結果について報告する。