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[23p-52A-16]Systematic investigation of oxygen-related defects in 4H-SiC by ab initio calculations

〇(M1)Sosuke Iwamoto1, Takayoshi Shimura1, Heiji Watanabe1, Takuma Kobayashi1 (1.Osaka Univ.)

Keywords:

SiC,ab initio calculation,oxygen-related defect

本研究では計算科学的手法に立脚し、SiC中における安定な酸素関連欠陥の系統的調査を行なった。計算にはVASPコードを用い、交換-相関汎関数にはSiCのバンドギャップを再現するHSE06汎関数を使用することで、高精度の計算結果を得た。計17種の欠陥構造に対して構造緩和計算を実行し、安定な欠陥の形態、形成エネルギー、欠陥準位等の諸特性を解明したのでこれを報告する。