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9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[24a-12F-3]Estimation of doping effect on elastic modulus of Si crystal by ab initio calculation

〇Eiji Kamiyama^1,2, Koji Sueoka² (1.Globalwafers Japan Co. Ltd, 2.Okayama Pref. Univ.)

silicon,First Principles Calculation,elastic modulus

Si中のP/B/As原子を例に，第一原理計算を用いて，任意の不純物核種を半導体結晶内の特定の位置にドーピングした状態を計算し，更にベガード則を使って，任意の濃度における弾性率を求めた結果について報告する．