[24a-12F-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:30 〜 9:45

[24a-12F-3] 第一原理計算を用いた、Si結晶の弾性率におけるドーピング効果見積もり

〇神山 栄治^1,2、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大)

キーワード：

シリコン,第一原理計算,弾性定数

Si中のP/B/As原子を例に，第一原理計算を用いて，任意の不純物核種を半導体結晶内の特定の位置にドーピングした状態を計算し，更にベガード則を使って，任意の濃度における弾性率を求めた結果について報告する．