[24a-12H-1~9] 6.1 Ferroelectric thin films

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[24a-12H-5] SAW devices consisting of solid flat electrode on periodically polarization inverted structure of c-axis tilted piezoelectric thin film

〇Satoshi Matsumura^1,2, Yohkoh Shimano^1,2, Naoki Ohno^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3,4, Cho Yasuo⁵ (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST, 5.Tohoku Univ.)

Keywords:

SAW,PbTiO3,polarization inversion

SAWの励振には櫛型電極(IDT :interdigital transducer)が使われる。SAWフィルタの高周波化の要求に答えるには、IDTの線幅を狭くしていく必要がある。しかし、それに伴ってIDT電極の耐電力性が低下していく。IDTではなく、ベタ電極を用いてSAWを励振させることができれば、耐電力性に優れたSAWフィルタが実現できると考えられる。そこで、本報告では、c軸傾斜圧電薄膜を周期的に分極反転させ、ベタ電極を積んだSAW励振構造を提案する。