講演情報
[24a-12H-5]周期的傾斜分極反転構造とベタ電極からなるSAWデバイス
〇松村 理司1,2、島野 耀康1,2、大野 直輝1,2、柳谷 隆彦1,2,3,4、長 康雄5 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST、5.東北大)
キーワード：
SAW,PbTiO3,分極反転
SAWの励振には櫛型電極(IDT :interdigital transducer)が使われる。SAWフィルタの高周波化の要求に答えるには、IDTの線幅を狭くしていく必要がある。しかし、それに伴ってIDT電極の耐電力性が低下していく。IDTではなく、ベタ電極を用いてSAWを励振させることができれば、耐電力性に優れたSAWフィルタが実現できると考えられる。そこで、本報告では、c軸傾斜圧電薄膜を周期的に分極反転させ、ベタ電極を積んだSAW励振構造を提案する。