Presentation Information
[24p-12M-1]Impact of substrate properties on silicon nanocone formation using intermediate-pressure hydrogen plasma
〇Ken Sakamoto1, Toshimitsu Nomura1, Hiroaki Kakiuchi1, Hiromasa Ohmi1 (1.Osaka Univ.)
Keywords:
silicon,anti reflection
本研究では、シリコン太陽電池の無反射表面を構築するため、中圧域で生成される高密度水素プラズマを用いてシリコン表面へナノコーンを形成することを目指している。これまでの研究から、水素中に微量添加する窒素ならびに酸素がその形成に重要なことを報告してきた。本報告では、結晶面方位、導電型、ならびに抵抗率等のSi基板の諸特性がナノコーン形成に及ぼす影響について評価・検討した。