講演情報
[24p-12M-1]中圧域水素プラズマを用いたシリコンナノコーン形成における基板特性の影響
〇坂本 健1、野村 俊光1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.大阪大工)
キーワード：
シリコン,光反射防止
本研究では、シリコン太陽電池の無反射表面を構築するため、中圧域で生成される高密度水素プラズマを用いてシリコン表面へナノコーンを形成することを目指している。これまでの研究から、水素中に微量添加する窒素ならびに酸素がその形成に重要なことを報告してきた。本報告では、結晶面方位、導電型、ならびに抵抗率等のSi基板の諸特性がナノコーン形成に及ぼす影響について評価・検討した。