Presentation Information
[24p-P16-22]Photoconductive properties of GZO thin films on flexible PET substrates
〇(M1)Tetsuya Masuda1, Yuki Matsuoka1, Tsutomu Muranaka1, Yoichi Nabetani1, Takashi Matsumoto1 (1.Univ. of yamanashi)
Keywords:
transparent conductive film,oxide semiconductor
II-VI族化合物半導体である酸化亜鉛(ZnO)はキャリア密度が高く、高い導電性を持つ。また、直接遷移型の半導体材料であり、3.37eVと広いバンドギャップを持つため紫外光を吸収する。そのため、取り扱いが容易な光導電型のUV 検出器としての応用が期待される。また、ZnOにGaを添加したGZOは Ga添加効果による薄膜のキャリア制御が可能となる。今回の発表では、プフレキシブルPET基板上に堆積したGZO薄膜の光導電特性を評価した結果を報告する。