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[25p-21C-4]Epitaxial growths of highly efficient GaN VCSELs with GaInN under layer and in-situ cavity length control

〇Taichi Nishikawa1, Kenta Kobayashi1, Ruka Watanabe1, Mitsuki Yanagawa1, Tetsuya Takeuchi1, Satoshi Kamiyama1, Motoaki Iwaya1 (1.Meijo Univ.)

Keywords:

VCSEL,GaInN,in-situ cavity length control

GaInN下地層を有するLEDでの電流密度依存性について検討した後に、GaInN下地層とその場共振器長制御を導入したVCSELを作製し、評価した。LEDでは数10 kA/cm2の高電流密度域において約1.3倍光出力が向上した。VCSELではエネルギー変換効率が8µm径で15%、5µm径で21%となり、高効率GaN系VCSELを実証した。